top of page
Электронные газы - это газы используемые в электронной промышленности.
Диапазон используемых газов в электронной промышленности гораздо шире чем в любой другой отрасли. Газы используются на всех этапах в производстве полупроводников, начиная с выращивания монокристаллического кремния, и на стадиях изготовления пластин: окисления, химического осаждения, напыления, сопротивления, травление, термодифузии и ионной имплантации.
BKGroup предлагает полный перечень электронных газов:
АММИАК (NH3)
АРСИН (AsH3)
БОРТРИХЛОРИД (BCl3)
БРОМВОДОРОД (HBr)
ХЛОР (Cl)
ХЛОРИСТЫЙ ВОДОРОД (HCl)
ДИХЛОРСИЛАН (SiH2Cl2)
ДИФТОРМЕТАН (CH2F2)
ДИСИЛАН (Si2H6)
ОКСИД АЗОТА (N2O)
ФТОРМЕТАН (CH3F)
ГЕРМАН (GeH4)
ГЕКСАФТОРБУТАН (C4F6)
ГЕКСАФТОРЭТАН (C2F6)
МЕТИЛСИЛАН (SiH3CH3)
ОКТОФТОРЦИКЛОБУТАН (C4F8)
ФОСФИН (PH3)
ГЕКСАФТОРИД СЕРЫ (SF6)
СИЛАН (SiH4)
ТЕТРОФТОРИД КРЕМНИЯ (SiF4)
ТЕТРАФТОРМЕТАН (CF4)
ТРИФТОРМЕТАН (CHF3)
ТРИМЕТИЛСИЛАН (SiH(CH3)3)
ДВУОКИСЬ УГЛЕРОДА
bottom of page